208HR

Das System

Der ultrahochauflösende Cressington Turbo Sputter Coater 208HR wurde speziell für hochauflösende Abbildungen im FE-REM oder TEM entwickelt.

Viele dieser Anwendungen benötigen extrem dünne, strukturfreie und gleichmäßige Beschichtungen um Aufladungen zu vermeiden oder den Kontrast bei Materialien mit geringer Dichte zu verbessern.

Er verfügt über ein kompakt konstruiertes Turbo-Vakuumsystem mit sehr kurzer Pumpzeit. Zudem hat er einen Hochleistungs-Sputterkopf (Ultra Cool DC Planarmagnetron) mit Magnetschaltung, sowie eine komplette Mikroprozessorsteuerung.

Der 208HR ist serienmäßig mit einem RPT (Rotary Planetary Tilting) Planetengetriebetisch ausgestattet. Die mitgelieferten High-/Low-Rezipienten erlauben eine einfache Verstellung des Abstands zwischen Target und Probe.

Die ebenfalls serienmäßig MTM-20 Schichtdicken- kontrolleinheit bietet eine Auflösung unter 0,1 nm. Dies ermöglicht präzise, reproduzierbare; dünne Schichten – speziell zwischen 0,5 nm und 3 nm, wie sie für viele FE-REM Anwendungen erstrebenswert sind.

Ölfreie Variante
Optional wird eine komplett ölfreie Version mit wartungsfreier und geräuscharmer Membranpumpe für den Einsatz unter Reinraumbedingungen angeboten. Die spätere Umstellung auf ein ölfreies System ist nicht möglich bzw. aus Kostengründen nicht rentabel.



208 family: 

208HR | 208carbon | 208carbon +APUZubehör


 

Stichpunkte

  • Automatischer oder manueller Betrieb
  • Sputterrate einstellbar von 1-0,002 nm/Sek.
  • Strukturfreie Beschichtung für FE-REM/TEM
  • Variabler Probenkammeraufbau durch modulare Bauweise
  • Vom Argondruck unabhängiger Sputterstrom für gleichmäßige Beschichtung auch schwer zugänglicher Stellen
  • Schichtdickensteuerung MTM-20 für genaue und reproduzierbare Schichtdicken
  • Planetengetriebetisch mit veränderbarem Kippwinkel
  • Cr, Ag, Au, Au/Pd, Pt, Pt/Pd, Ir, W Targets (andere Targets auf Anfrage)
  • Rotations- und Turbomolekularpumpe
  • Ölfreies Vakuumsystem (optional)

Zubehör inklusive

Zubehör optional

Cressington 208HR Low

Cressington 208HR Low

Cressington 208HR High

Cressington 208HR High