208HRD
Das System
Der ultrahochauflösende Cressington Turbo Sputter Coater 208HRD wurde speziell für hochauflösende Abbildungen im FE-REM oder TEM entwickelt. Viele dieser Anwendungen benötigen extrem dünne, strukturfreie und gleichmäßige Beschichtungen um Aufladungen zu vermeiden oder den Kontrast bei Materialien mit geringer Dichte zu verbessern.
Er verfügt über ein kompakt konstruiertes Turbo-Vakuumsystem mit sehr kurzer Pumpzeit, es handelt sich hier um ein komplett Ölfreies System. Zudem hat er einen Hochleistungs-Sputterkopf (Ultra Cool DC Planarmagnetron) mit Magnetschaltung, sowie eine komplette Mikroprozessorsteuerung.
Der 208HRD ist serienmäßig mit einem RPT (Rotary Planetary Tilting) Planetengetriebetisch ausgestattet. Die mitgelieferten High-/Low-Rezipienten erlauben eine einfache Verstellung des Abstands zwischen Target und Probe.
Die ebenfalls serienmäßig MTM-20 Schichtdickenkontrolleinheit bietet eine Auflösung unter 0,1 nm. Dies ermöglicht präzise, reproduzierbare; dünne Schichten – speziell zwischen 0,5 nm und 3 nm, wie sie für viele FE-REM Anwendungen erstrebenswert sind.
208 family:
Stichpunkte
- Automatischer oder manueller Betrieb
- Sputterrate einstellbar von 1-0,002 nm/Sek.
- Strukturfreie Beschichtung für FE-REM/TEM
- Variabler Probenkammeraufbau durch modulare Bauweise
- Vom Argondruck unabhängiger Sputterstrom für gleichmäßige Beschichtung auch schwer zugänglicher Stellen
- Schichtdickensteuerung MTM-20 für genaue und reproduzierbare Schichtdicken
- Planetengetriebetisch mit veränderbarem Kippwinkel
- Cr, Ag, Au, Au/Pd, Pt, Pt/Pd, Ir, W Targets (andere Targets auf Anfrage)
- Membran- und Turbomolekularpumpe
- Ölfreies Vakuumsystem
Zubehör inklusive
- Komplettes Pumpsystem
- MTM-20 Schichtdickenkontrollsystem
- Planetengetriebetisch
- Glasrezipienten High/Low
Zubehör optional
Cressington 208HRD Low
Cressington 208HRD High